气氛炉常见泄漏点排查:法兰、O型圈、电极引出部位
浏览次数:32发布日期:2025-11-24
气氛炉通过通入惰性或反应性气体(如Ar、N₂、H₂)实现特定热处理环境,其气密性直接决定工艺成败与运行安全。一旦发生泄漏,不仅导致氧含量升高、样品氧化,还可能在氢气氛围下引发爆炸。因此,定期排查三大高发泄漏点——法兰连接处、O型圈密封面、电极引出部位——是维护工作的重中之重。
1.法兰连接处泄漏
炉体与炉盖、气体进出口通常采用金属或快装法兰连接。常见问题包括:
螺栓预紧力不均,导致法兰翘曲;
密封面划伤或积碳未清理。
排查方法:用氦质谱检漏仪或皂泡法(禁用于氢气系统)检测。处理时需拆卸法兰,用无纺布蘸酒精清洁密封面,按对角线顺序均匀拧紧螺栓。
2.O型圈老化或选型错误
多数气氛炉使用氟橡胶(FKM)或全氟醚橡胶(FFKM)O型圈。长期高温(>200℃)或接触腐蚀性气体(如Cl₂)会导致其硬化、开裂。检查要点:
每次开炉时目视O型圈是否变形、龟裂;
确认材质与工艺气体兼容(如氢气环境需专用低渗透率O型圈);
安装前涂抹真空脂(仅限非超高真空场景),避免干摩擦损伤。

3.电极引出部位泄漏
热电偶、加热电极需穿过炉壁,此处采用陶瓷绝缘子+金属压封结构。长期热循环易导致玻璃釉密封层微裂或金属-陶瓷界面脱焊。
检测技巧:在停炉冷却后,向炉内充入0.05 MPa氮气,保压30分钟,观察压力表是否下降。若泄漏,需返厂重做金属化封接。
预防建议:
每月进行一次全面气密性测试;
氢气气氛炉必须配备氢气泄漏报警器与强制排风系统;
避免频繁升降温,减少热应力对密封结构的冲击。
总之,气氛炉的“气氛纯净”始于“零泄漏”。只有将密封件视为关键耗材,建立定期检查与更换机制,才能保障实验结果的可靠性与人员设备的安全。