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高温烧结炉在使用时可能遇到哪些问题?如何解决?
浏览次数:136发布日期:2021-10-19
  高温烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体设备系列中一种新颖的工艺装备。下面详解高温烧结炉的几种常见故障应对措施:
 
  一、冷却水异常
 
  1、确认加热电源已停止。
 
  2、炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。
 
  3、冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。
 
  4、在高温(超过200℃即视为高温)时,如果冷却水停止了,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。
 
  二、压缩空气的停止
 
  1、压缩空气异常报警时,设备处于停止状态,应尽快到备用的压缩机房,让其恢复工作。
 
  2、真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。
 
  三、停电
 
  1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。
 
  2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。
 
  3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。
 
  四、加热电源掉电
 
  1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。
 
  2、接地故障。
 
  3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。
 
  4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
 
  五、充气气体(氩气或氮气)停止
 
  1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。
 
  2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。
 
  3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。
 
  4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。
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